Post-deposition annealing effects in RF reactive magnetron sputtered indium tin oxide thin films
- Martínez, M.A.
- Herrero, J.
- Gutiérrez, M.T.
ISSN: 0927-0248
Datum der Publikation: 1992
Ausgabe: 26
Nummer: 4
Seiten: 309-321
Art: Artikel
ISSN: 0927-0248
Datum der Publikation: 1992
Ausgabe: 26
Nummer: 4
Seiten: 309-321
Art: Artikel