Post-deposition annealing effects in RF reactive magnetron sputtered indium tin oxide thin films
- Martínez, M.A.
- Herrero, J.
- Gutiérrez, M.T.
ISSN: 0927-0248
Any de publicació: 1992
Volum: 26
Número: 4
Pàgines: 309-321
Tipus: Article
ISSN: 0927-0248
Any de publicació: 1992
Volum: 26
Número: 4
Pàgines: 309-321
Tipus: Article