Post-deposition annealing effects in RF reactive magnetron sputtered indium tin oxide thin films

  1. Martínez, M.A.
  2. Herrero, J.
  3. Gutiérrez, M.T.
Revista:
Solar Energy Materials and Solar Cells

ISSN: 0927-0248

Any de publicació: 1992

Volum: 26

Número: 4

Pàgines: 309-321

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0927-0248(92)90050-Y GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible