Effect of oxygen based functional groups on the nucleation of TiO2 by atomic layer deposition: A theoretical and experimental study
- Borbón-Nuñez, H.A.
- Muñiz, J.
- El Hachimi, A.G.
- Frausto-Silva, D.
- Gutiérrez-Díaz, J.L.
- Domínguez, D.
- Tiznado, H.
- Cuentas-Gallegos, A.K.
Revista:
Materials Chemistry and Physics
ISSN: 0254-0584
Año de publicación: 2021
Volumen: 267
Tipo: Artículo