Effect of oxygen based functional groups on the nucleation of TiO2 by atomic layer deposition: A theoretical and experimental study

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Revista:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Año de publicación: 2021

Volumen: 267

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MATCHEMPHYS.2021.124588 GOOGLE SCHOLAR